IH半導(dǎo)體干泵
IH半導(dǎo)體干泵
概述
Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照最高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)最大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應(yīng)用
· 負(fù)載鎖
· 輸送
· 計(jì)量
· 平版印刷
· PVD 制程
· PVD 預(yù)清潔
· RTA
· 剝離/灰化
· 刻蝕
· 植入源
· HDP CVD
· RTP
· SACVD
· MCVD
· PECVD
· LPCVD
· ALD
技術(shù)數(shù)據(jù)
*以上數(shù)據(jù)僅供參考，如需詳細(xì)資料。請(qǐng)與我們聯(lián)系。
